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ドイツMAGPULS HIPIMS・リアクティブスパッタ用パルス電源
 
●パルス電源に、DC電力をストックし放電するので、1台のDC電源、1台のパルス電源で±出力が出来、コンパクトで安価なパルス電源です
 
新機能!!
オプションでパルス電源内に、マスター電源と、バイアス電源出力を遅らせるTrigger delay機能(0∼1000μs/20nsec )を追加出来ます

●ヨーロッパ、アジアで多数の使用実績
 
●DCからバイポーラパルスまで、最大8種類のモードで使用出来ます
  DC+,DC-,ユニポーラ+, ユニポーラ-, バイポーラ,非対称バイポーラ,  対称電圧振幅よるパルストレインでのプログラム, 非対称電圧振幅よるパルストレインでのプログラム
 
●MP2-HCモデルは、1台の電源で、お客様がSWを切り替えて、HIPIMS用かMFで使用出来ます
 
●正と負のパルス時間、アークパラメータの独立した設定を行えます
 
●スパッタプロセスに合わせ、2種類のアーク制御選択が可能です
 
●同モデル、他モデルと接続して、ハイパワーパルス電源に出来ます