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ドイツMAGPULS HIPIMS・リアクティブスパッタ用パルス電源

 

●パルス電源に、DC電力をストックし放電するので、短周期でのパルス電力の出力が出来、コンパクトで安価なパルス電源です

 

●独自の出力方法で、短周期で高パルス電力を出力し、ランニングコストを大幅に節約出来ます

 

●ヨーロッパ、アジアで多数の使用実績

 

●DCからバイポーラパルスまで、最大8種類のモードで使用出来ます

    DC+,DC-,ユニポーラ+, ユニポーラ-, バイポーラ,非対称バイポーラ,

    対称電圧振幅よるパルストレインでのプログラム

  非対称電圧振幅よるパルストレインでのプログラム

 

●MP2-HCモデルは、1台の電源で、お客様がSWを切り替えて、HIPIMS用かMF

  で使用出来ます

 

●正と負のパルス時間、アークパラメータの独立した設定を行えます

 

●スパッタプロセスに合わせ、2種類のアーク制御選択が可能です

 

●同モデル、他モデルと接続して、ハイパワーパルス電源に出来ます

 

 

 

 

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