ドイツMAGPULS HIPIMS・リアクティブスパッタ用パルス電源
MAGPULS GMBHは、1997年に設立され、外部のDC電源の電力を、パルス電源内の蓄電池に貯めて、高速で±パルス出力を行う内容の国際特許を取りました。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。

1台のDC電源、1台のパルス電源で同じ電圧値の±出力が出来ます
  DC±、UP(ユニポーラ)±、バイポーラ(BP)、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムの最大6種類の出力モードで使用出来ます。














2台のDC電源、1台のパルス電源で違う電圧値の±出力が出来ます
 DC±、UP(ユニポーラ)±、バイポーラ(BP)、非対称バイポーラ(BP) 対称±電圧よるパルストレイン、非対称±電圧よるパルストレインでのプログラムの最大8種類の出力モードで使用出来ます。
















世界初 Trigger Delay機能をパルス電源に内蔵!!
Master電源のパルス出力と、バイアス電源のパルス印可のタイミングを遅らせて、効率的に必要なイオンによる成膜を行う為のtrigger delay機能をオプションで選択出来ます。2.00~1000.00μsecの間で、20nsec単位で設定出来ます
















DC成膜とHIPIMS成膜の違い
















 

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