top of page

INNOVATION
FOU
有限会社フォーユー
FOU Corporation
プラズマ発光モニター&コントローラ 発光分析ソフト
ドイツ PLASUS GmbH
AHA (Advanced HiVac Application Co.,LTD)製
ターボポンプ(TMP)用ステーションカート
世界初!! 大量受注決定!!
*お客様の用途、コストのご要求に応じて、ターボポンプとスクロールポンプをEDWARDSとAgilent
社から選択出来ます
(御使用目的、条件、ご希望価格、納期等を伺い、お見積り致します)
*ターボポンプとスクロールポンプの真空度、電流、パワー、周波数、温度、運転状態を、リアルタイ
ムで、カートのディスプレイに表示します
*アプリケーションに応じて、最適なポンピング速度を設定できます。最適なポンピング速度設定によ
り、消費電力を制御して、電気代を節約出来ます
*AHAポンピングステーションは、オプションで、SEMガンカラム製造のための長い運転期間(特に
夜間)のポンプステーションの予期しない機能不全を防ぐために、リモートモニタ機能を選択するこ
とができます
*TMPと最大4つのゲージを駆動できます。 4出力リレーは、TMP /ゲージの読み値を参照することに
よって他の設備を制御することができます
注意;圧力表示はmbar, Torr, Pa(pascal)から選択できます


AHA TMPステーションカートの操作




→
→



TMPの必要な真空度に合わせ、周波数(ポンピング速度)の設定変更により、消費電力を節約出来ます ↓
bottom of page