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（HIPIMSにも対応）長寿命で高効率の矩形、円形、カソード

THIN FILM CONSULTING (TFC)

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ターゲット材料、電源パワー、ターゲットー基板距離、真空度の
シュミレーションに基づくカソードの製造

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ターゲット全面の磁場分布

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