• facebook
  • Twitter Round
  • googleplus
  • flickr

AHA (Advanced HiVac Application Co.,LTD)製

​ターボポンプ(TMP)用ステーションカート

世界初!!    大量受注決定!!

*お客様の用途、コストのご要求に応じて、ターボポンプとスクロールポンプをEDWARDSAgilent 

  社から選択出来ます

 (御使用目的、条件、ご希望価格、納期等を伺い、お見積り致します)

 

*ターボポンプとスクロールポンプの真空度、電流、パワー、周波数、温度、運転状態を、リアルタイ

  ムで、カートのディスプレイに表示します

​*アプリケーションに応じて、最適なポンピング速度を設定できます。最適なポンピング速度設定によ

  り、消費電力を制御して、電気代を節約出来ます

*AHAポンピングステーションは、オプションで、SEMガンカラム製造のための長い運転期間(特に

  夜間)のポンプステーションの予期しない機能不全を防ぐために、リモートモニタ機能を選択するこ

  とができます

*TMPと最大4つのゲージを駆動できます。 4出力リレーは、TMP /ゲージの読み値を参照することに

 よって他の設備を制御することができます

注意;圧力表示はmbar, Torr, Pa(pascal)から選択できます

AHA TMPステーションカートの操作

TMPの必要な真空度に合わせ、周波数(ポンピング速度)の設定変更により、消費電力を節約出来ます