DC 電源の高品質で信頼性の高い 、KaitekオリジナルのiP プラットフォームは、電圧変動を最小限に抑え、歩留まりを高めるための優れたプロセスの一貫性と制御を提供します。 DC電源でお困りの事が御座いましたら、ご相談下さい!! 

特長

⮚ 成膜の高品質と高速スループットを実現します
⮚ フィルム、基板、および機器の損傷を低減します
⮚ 極端なアーク放電条件下でも安定したスループット
　と電力供給が出来ます。低電圧モード (50V 以上)
　で出力できます
⮚ 超高速アーク除去と、通常動作へ最短時間で復帰し
　ます。短いアーク発生後のプラズマ再開時間 12 μ
​　秒
⮚ 95% 以上の高効率です
⮚ 簡単な統合と制御が出来ます
⮚ 高い信頼性と低価格です

仕様
⮚500W~15KW(オプション20KW）
⮚ ジュール モード - 最適化されたエネルギー供給
⮚ 空冷
⮚ パッシブフロントパネル
⮚ インターフェイス: Profibus、DeviceNet、
RS-232/485 およびアナログ ユーザー ポート