ドイツPLASUS社 EMICON MCシリーズ

! 高分解能(1.4 or 0.15nm/FWHM)
! 3-7倍の反応性スパッタ成膜の高速成膜
! 独自のリアクティブスパッタ成膜制御
! プラズマ異常をリアルモニターし、外部出力
! エンドポイント制御
!新!! 液化ガス使用CVDで、MFC、電源(ヒータ)変更による発光強度制御

200~1100nm間の任意のLine Integral(積分)値で
 プロセスコントロール
   (納入実績1000チャンネル以上)

News;
稼働中のリアクティブHIPIMSプロセのPIDコントロールを発表
(詳細をご希望の方は当社にお問い合わせ下さい)

PLASUS社オリジナル発光波長ラインの自動同定発光強度値表示

              SpecLineソフト

 

″約60万種類の公的データベースから、原子、分子、イオン波長ラインの同定を自動で行います。又、採った各データの発光強度値もスペクトルグラフの各ラインに表示しますので、各データの発光強度の違いを比較できます。”

 

SpecLine発光分析ソフトだけの販売も行っています!!

 

① 発光グラフ画面を呼び出す

② 原子、分子、イオンを設定画面に入力

③ Startボタンを押すと、発光グラフ画面上に瞬時に波長ラインの同定候補を表示

④ 同定候補から、ルールによりラインを同定する

 

 

 

 

 

 

 

   AHA 
TMP ステーションカート

 Thin Film Consulting

マグネトロンスパッタカソード

     MAGPULS
 HIPIMS用パルス電源