ドイツPLASUS社 EMICON MCシリーズ

! 高分解能（1.4 or 0.15nm/FWHM)
! 3-7倍の反応性スパッタ成膜の高速成膜
! 独自のリアクティブスパッタ成膜制御
! プラズマ異常をリアルモニターし、外部出力
! エンドポイント制御
!新!!　液化ガス使用CVDで、MFC、電源（ヒータ）変更による発光強度制御

200~1100nm間の任意のLine　Integral(積分）値で
　プロセスコントロール
　　　（納入実績1000チャンネル以上）

News；
稼働中のリアクティブHIPIMSプロセのPIDコントロールを発表（詳細をご希望の方は当社にお問い合わせ下さい）

PLASUS社オリジナル発光波長ラインの自動同定と発光強度値表示

　　　　　　　　　　　　　　SpecLineソフト

″約60万種類の公的データベースから、原子、分子、イオンで波長ラインの同定を自動で行います。又、採った各データの発光強度値もスペクトルグラフの各ラインに表示しますので、各データの発光強度の違いを比較できます。”

SpecLine発光分析ソフトだけの販売も行っています!!

①　発光グラフ画面を呼び出す

②　原子、分子、イオンを設定画面に入力

③　Startボタンを押すと、発光グラフ画面上に瞬時に波長ラインの同定候補を表示

④　同定候補から、ルールによりラインを同定する

　　　AHA　

TMP　ステーションカート

　Thin Film Consulting

マグネトロンスパッタカソード

　　　　　MAGPULS

 HIPIMS用パルス電源