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INNOVATION
FOU
有限会社フォーユー
FOU Corporation
プラズマ発光モニター&コントローラ 発光分析ソフト
ドイツ PLASUS GmbH
ドイツPLASUS社 EMICON MCシリーズ
! 高分解能(1.4 or 0.15nm/FWHM)
! 3-7倍の反応性スパッタ成膜の高速成膜
! 独自のリアクティブスパッタ成膜制御
! プラズマ異常をリアルモニターし、外部出力
! エンドポイント制御
!新!! 液化ガス使用CVDで、MFC、電源(ヒータ)変更による発光強度制御
200~1100nm間の任意のLine Integral(積分)値で
プロセスコントロール
(納入実績1000チャンネル以上)
News;
稼働中のリアクティブHIPIMSプロセのPIDコントロールを発表(詳細をご希望の方は当社にお問い合わせ下さい)

PLASUS社オリジナル発光波長ラインの自動同定と発光強度値表示
SpecLineソフト
″約60万種類の公的データベースから、原子、分子、イオンで波長ラインの同定を自動で行います。又、採った各データの発光強度値もスペクトルグラフの各ラインに表示しますので、各データの発光強度の違いを比較できます。”
SpecLine発光分析ソフトだけの販売も行っています!!
① 発光グラフ画面を呼び出す
② 原子、分子、イオンを設定画面に入力
③ Startボタンを押すと、発光グラフ画面上に瞬時に波長ラインの同定候補を表示
④ 同定候補から、ルールによりラインを同定する

AHA
TMP ステーションカート
Thin Film Consulting
マグネトロンスパッタカソード
MAGPULS
HIPIMS用パルス電源



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