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HiPIMS Today2022仮想会議会議が、1月25日から27日までZoom会議で無料で開催されます。 自由に参加してください。 PLASUSは、EMICON SA-HIPIMSシステムについて簡単に説明し、展示会の小会議室で製品を紹介します。
PLASUSは、1月26日（水）午前6時50分（UTC時間）、日本時間午後１時からHIPIMSアプリケーションに適した、最新製品の紹介を行います。

　ドイツPLASUS社 EMICON MCシリーズ

! 高分解能（1.4 or 0.15nm/FWHM)
! 3-7倍の反応性スパッタ成膜の高速成膜
! 独自のリアクティブスパッタ成膜制御
! プラズマ異常をリアルモニターし、外部出力
! エンドポイント制御
!新!!　液化ガス使用CVDで、MFC、電源（ヒータ）変更による発光強度制御

200~1100nm間の任意のLine　Integral(積分）値で
　プロセスコントロール
　　　（納入実績1000チャンネル以上）

News；
稼働中のリアクティブHIPIMSプロセのPIDコントロールを発表（詳細をご希望の方は当社にお問い合わせ下さい）

データベースシート

PLASUS社オリジナル発光波長ラインの自動同定と発光強度値表示

　　　　　　　　　　　　　　SpecLineソフト

 

″約60万種類の公的データベースから、原子、分子、イオンで波長ラインの同定を自動で行います。又、採った各データの発光強度値もスペクトルグラフの各ラインに表示しますので、各データの発光強度の違いを比較できます。”

 

SpecLine発光分析ソフトだけの販売も行っています!!

 

①　発光グラフ画面を呼び出す

②　原子、分子、イオンを設定画面に入力

③　Startボタンを押すと、発光グラフ画面上に瞬時に波長ラインの同定候補を表示

④　同定候補から、ルールによりラインを同定する

デモ分析ソフトGo!

 

 

 

 

 

 

 

デモソフトへGo!
発光分析ソフト
　　　AHA　
TMP　ステーションカート

　Thin Film Consulting

マグネトロンスパッタカソード

　　　　　MAGPULS
 HIPIMS用パルス電源
MAG go!