ドイツMAGPULSはHIPIMS用パルス電源の先駆者です
MAGPULS GMBHは、1997年に設立され、外部のDC電源の電力を、パルス電源内のコンデンサーに貯めて、高速で±パルス出力を行う内容の国際特許を取りました。バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出力し、電気代を30％以上節電出来ます。このパルス電源は、コンパクトで安価なので、ヨーロッパ、アジアで多数の納入実績があります。

1台のDC電源、1台のパルス電源で、設定した電圧値の電極無し2出力を、自動で切り替えて出力し、同一チャンバー内の2つのカソードで高精度の成膜が出来ます。
  DC±、UP（ユニポーラ）±、バイポーラ（BP）、 対称±電圧よるパルストレインでのプログラムが最大6種類の出力モードで使用出来ます。















２台のDC電源、1台のパルス電源で違う電圧値の±出力が出来ます
　DC±、UP（ユニポーラ）±、バイポーラ（BP）、非対称バイポーラ（BP） 対称±電圧よるパルストレイン、非対称±電圧よるパルストレインでのプログラムの最大8種類の出力モードで使用出来ます。


















世界初　Trigger Delay機能をパルス電源に内蔵！！
Master電源のパルス出力と、バイアス電源のパルス印可のタイミングを遅らせて、効率的に必要なイオンによる成膜を行う為のtrigger delay機能をオプションで選択出来ます。2.00～1000.00μsecの間で、20nsec単位で設定出来ます

















DC成膜とHIPIMS成膜の違い